尼康公司推出了专门面向高通量低成本应用领域的NSR-SF150型扫描场i-line光学步进机。尼康的扫描场步进机如今在全球已经拥有300多个系统，而SF150是它的第六代产品。

    该系统利用了先进的透镜技术，曝光场的宽度达到了DUV扫描器的宽度水平，使之成为混搭应用领域的理想选择。芯片制造商可以在下一代存储设备和微处理器的量产中运用SF150。SF150结合了新的透镜和进程技术。尼康公司表示，该系统结合了Skyhook技术来降低抖动，并利用优化的气流和温度控制来改进透镜的稳定性和准确性。

    Nikon Precision公司CEO Geoff Wild表示：“新的SF150实现了很大的改进，将大大提升生产率，并将拥有成本降低到前所未有的水平。”

    尼康将在明年第二季度开始销售SF150系统。

（源自：电子工程专辑）